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梯度气锁气流从压力高处通过气锁室流向压力低处。用于不同洁净区之间或洁净区与非洁净区之间的隔离。作用:保护产品不被外界污染
2023-12-14 20:45:54
两证
梯度气锁气流从压力高处通过气锁室流向压力低处。用于不同洁净区之间或洁净区与非洁净区之间的隔离。作用:保护产品不被外界污染
A.正确
B.错误
正确答案是A
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相同洁净度级别的不同功能区域(操作间)之间应保持适当的压差梯度(控制为5pa)
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正压气锁气锁室位于压力最高处,气流从气锁室向外流出。用于分隔不同区域之间的气流。作用:既保护产品不被外界污染又保护外界不被污染