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三维集成电路的基本结构是什么?
2024-09-04 03:40:34
现代科学技术概论(28041)
三维集成电路的基本结构是什么?
【正确答案】:硅衬底上一层集成电路然后覆盖一层绝缘层;绝缘层上形成一层晶体薄膜,再制作第二层集成电路;然后再做下一层,隔层之间可穿孔连线。
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